文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"https://news.solarbe.com/200705/24/190.html"
LDS 300是瑞士Synova公司最新推出的激光切割系統（LDS），該系統以公司創新的微水刀激光（water-jet-guided laser）技術－Laser Microjet為基礎設計而成，旨在為芯片制造商們提供更大工作面積的高速設備。LDS 300能夠將最大尺寸為300-mm的晶圓切割成尺寸最小為0.25 x 0.25 mm的芯片。迄今為止，包括晶圓裝載盒、清洗以及質量控制等組件在內的全套自動切割系統的占地面積是業界中最小的。
Laser Microjet技術是一項將激光與水刀完美結合的革命性切割工藝，通過如發絲般纖細的微水柱將激光束引導到晶圓上。與傳統的切割方法不同的是，Laser Microjet使用微水柱來冷卻材料表面，避免了材料表面的熱損傷，從而獲得了理想的保護。同時，水流形成了一層流動的天然保護層，避免了污染物和熔渣附著。上述兩個表面保護特性改進、完善了傳統切割工藝，進而大幅度提升了器件的良品率。Laser Microjet的加工品質卓越、性能穩定、可靠性高、維護簡易，無需使用并替換切割刀具。與以往的切割工藝相比，微水刀激光技術降低了芯片制造商的生產成本。該工藝切割超薄晶圓的速度高達300mm/秒；切割道平行狹窄，其寬度從75微米到25微米不等，且不受晶圓厚度的制約。
關鍵字標籤：切割膠帶
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LDS 300是瑞士Synova公司最新推出的激光切割系統（LDS），該系統以公司創新的微水刀激光（water-jet-guided laser）技術－Laser Microjet為基礎設計而成，旨在為芯片制造商們提供更大工作面積的高速設備。LDS 300能夠將最大尺寸為300-mm的晶圓切割成尺寸最小為0.25 x 0.25 mm的芯片。迄今為止，包括晶圓裝載盒、清洗以及質量控制等組件在內的全套自動切割系統的占地面積是業界中最小的。
Laser Microjet技術是一項將激光與水刀完美結合的革命性切割工藝，通過如發絲般纖細的微水柱將激光束引導到晶圓上。與傳統的切割方法不同的是，Laser Microjet使用微水柱來冷卻材料表面，避免了材料表面的熱損傷，從而獲得了理想的保護。同時，水流形成了一層流動的天然保護層，避免了污染物和熔渣附著。上述兩個表面保護特性改進、完善了傳統切割工藝，進而大幅度提升了器件的良品率。Laser Microjet的加工品質卓越、性能穩定、可靠性高、維護簡易，無需使用并替換切割刀具。與以往的切割工藝相比，微水刀激光技術降低了芯片制造商的生產成本。該工藝切割超薄晶圓的速度高達300mm/秒；切割道平行狹窄，其寬度從75微米到25微米不等，且不受晶圓厚度的制約。
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